Главная > Новости > Инновации в АО «НИИ «Элпа»

Инновации в АО «НИИ «Элпа»

14:11 / 25 мая 2016
На предприятии идёт модернизация производства, которая позволяет добиться серьёзных результатов.
Геннадий Галанов, директор НПК-1
Наталья Владимировна Воронова (начальник лаборатории) и Юрий Вячеславович Пучков (инженер-конструктор)
Наталья Владимировна Воронова (начальник лаборатории) и Юрий Вячеславович Пучков (инженер-конструктор)

В технологическую линейку НПК-1 АО «НИИ «Элпа» не было капитальных вложений около 30 лет. В период перестроек было не до обновления оборудования, в то время главное было – поддержать старое в рабочем состоянии. И наконец время настало: дальше тянуть нельзя, иначе отставание станет фатальным. Кроме того, решение задач по импортозамещению и созданию современных акустоэлектронных устройств напрямую связано с развитием и совершенствованием технологической базы.

В основу проекта АО «НИИ «Элпа» в 2015 году легли минимизация размера структур и снижение дефектности на поверхности акустоэлектронных устройств. Цель проекта – формирование изображения методом контактной фотолитографии. Это один из важнейших компонентов в планарной технологии, используемой в производстве устройств на поверхностных акустических волнах (ПАВ). Уровень фотолитографии (размер критического элемента) определяет частоту ПАВ-устройств (резонаторов, фильтров). Существовавший до 2015 года технологический уровень производственной базы позволял получать минимальный размер элементов не лучше, чем 1 мкм. Модернизация участка фотолитографии, а именно: создание участка субмикронной фотолитографии позволило уменьшить минимальный размер элементов до 0,4 мкм.

Благодаря усилиям владельцев компании и выделенному финансированию, удалось приобрести новое оборудование. Это позволило добиться важных результатов. Специалисты научно-производственного комплекса провели серьёзную работу по организации участка субмикронной фотолитографии, настройке параметров технологического процесса по требованиям к ПАВ устройствам. Введена в эксплуатацию и апробирована установка совмещения и экспонирования ЭМ-5096, позволяющая формировать изображение с размером элементов 0,4 ÷ 0,6 мкм, при условии использования кварцевых фотошаблонов, новых типов фоторезистов (таких как UV5 или UV60) и выполнении более высоких требований к операциям нанесения фоторезиста, его термообработки и проявления. Объективный контроль воспроизводимости техпроцесса обеспечивается при помощи приобретённого атомно-силового микроскопа.

В результате c помощью участка субмикронной фотолитографии по разработанному технологическому маршруту были изготовлены акустические линии задержки на частоту 1250 МГц с полосой пропускания 50 %. Минимальный размер элементов устройства – 0,4 мкм. Как уже подчёркивалось, это значительно меньше по сравнению с результатами, которых удавалось достигать раньше.

Кроме того, на основе субмикронной технологии возможно расширение диапазона частот изготавливаемых устройств на поверхностных акустических волнах до частот 1,5 – 2,0 ГГц.

Таким образом, мы можем с гордостью заявить, что у нашей компании есть хороший научно-технический задел для дальнейшего развития.

Также вам может быть интересно
Татьяна Владимировна Ушакова, ветеран кадровой службы, специалист по кадрам АО «Социум-А»
09:52 / 22 июня 2018
Книга «Социум». Татьяна Ушакова: Мой второй родной дом
Когда мне предложили рассказать о своей работе в «Социуме», об отношениях с коллегами, поделиться жизненными наблюдениями, то, немного подумав, я согласилась, но с опаской.
12:02 / 21 июня 2018
Люди «Социума». 30 лет назад в Малоярославце
10 июня 1988 года инженер Игорь Ашурбейли зарегистрировал свою компанию «Социум». Промышленные предприятия, люди, которые на сегодняшний день стали неотъемлемой частью «Социума», тогда ещё жили совсем другой, отдельной жизнью. Многие судьбоносные встречи ещё не состоялись. Чем запомнился этот год нынешним сотрудникам Малоярославецкого приборного завода?
Валентин Михайлович Петухов, заместитель председателя Союза производственных кооперативов потребительской кооперации СССР (1989–1995), директор АООТ «Международное бюро информации и телекоммуникаций» и других предприятий «Социума» (1996–2015)
11:28 / 21 июня 2018
Книга «Социум». Валентин Петухов: Веление времени
Начну с истории о кооперативном движении. После окончания Гражданской войны в первые годы советской власти в целях активации инициативы трудового населения и выхода из разрухи В. И. Лениным была разработана модель новой экономической политики (НЭП), включая создание частных и кооперативных предприятий.
Эльшад Рауфович Казиев, генеральный директор ООО «АСГАРД»
11:19 / 21 июня 2018
Книга «Социум». Эльшад Казиев: Главное - принцип управления
Встретились мы на Первом Всесоюзном съезде кооперативных хозрасчётных предприятий в 1989 году в Москве. Я был на тот момент управляющим делами всесоюзной общественной организации, входил в оргкомитет.
Слева направо, сверху вниз: Андрей Гуськов, Елена Медникова, Юлия Железнова, Алексей Печкорин – сотрудники АПКБ
09:46 / 21 июня 2018
Люди «Социума». 30 лет – амбициозный возраст
Многие из молодых, талантливых ребят, которые работают в Арзамасском приборостроительном конструкторском бюро, – ровесники нашего холдинга.