Главная > Новости > Инновации в АО «НИИ «Элпа»

Инновации в АО «НИИ «Элпа»

14:11 / 25 мая 2016
На предприятии идёт модернизация производства, которая позволяет добиться серьёзных результатов.
Геннадий Галанов, директор НПК-1
Наталья Владимировна Воронова (начальник лаборатории) и Юрий Вячеславович Пучков (инженер-конструктор)
Наталья Владимировна Воронова (начальник лаборатории) и Юрий Вячеславович Пучков (инженер-конструктор)

В технологическую линейку НПК-1 АО «НИИ «Элпа» не было капитальных вложений около 30 лет. В период перестроек было не до обновления оборудования, в то время главное было – поддержать старое в рабочем состоянии. И наконец время настало: дальше тянуть нельзя, иначе отставание станет фатальным. Кроме того, решение задач по импортозамещению и созданию современных акустоэлектронных устройств напрямую связано с развитием и совершенствованием технологической базы.

В основу проекта АО «НИИ «Элпа» в 2015 году легли минимизация размера структур и снижение дефектности на поверхности акустоэлектронных устройств. Цель проекта – формирование изображения методом контактной фотолитографии. Это один из важнейших компонентов в планарной технологии, используемой в производстве устройств на поверхностных акустических волнах (ПАВ). Уровень фотолитографии (размер критического элемента) определяет частоту ПАВ-устройств (резонаторов, фильтров). Существовавший до 2015 года технологический уровень производственной базы позволял получать минимальный размер элементов не лучше, чем 1 мкм. Модернизация участка фотолитографии, а именно: создание участка субмикронной фотолитографии позволило уменьшить минимальный размер элементов до 0,4 мкм.

Благодаря усилиям владельцев компании и выделенному финансированию, удалось приобрести новое оборудование. Это позволило добиться важных результатов. Специалисты научно-производственного комплекса провели серьёзную работу по организации участка субмикронной фотолитографии, настройке параметров технологического процесса по требованиям к ПАВ устройствам. Введена в эксплуатацию и апробирована установка совмещения и экспонирования ЭМ-5096, позволяющая формировать изображение с размером элементов 0,4 ÷ 0,6 мкм, при условии использования кварцевых фотошаблонов, новых типов фоторезистов (таких как UV5 или UV60) и выполнении более высоких требований к операциям нанесения фоторезиста, его термообработки и проявления. Объективный контроль воспроизводимости техпроцесса обеспечивается при помощи приобретённого атомно-силового микроскопа.

В результате c помощью участка субмикронной фотолитографии по разработанному технологическому маршруту были изготовлены акустические линии задержки на частоту 1250 МГц с полосой пропускания 50 %. Минимальный размер элементов устройства – 0,4 мкм. Как уже подчёркивалось, это значительно меньше по сравнению с результатами, которых удавалось достигать раньше.

Кроме того, на основе субмикронной технологии возможно расширение диапазона частот изготавливаемых устройств на поверхностных акустических волнах до частот 1,5 – 2,0 ГГц.

Таким образом, мы можем с гордостью заявить, что у нашей компании есть хороший научно-технический задел для дальнейшего развития.

Также вам может быть интересно
Центр культуры и бизнеса «Москва-Сокол» на Балтийской
15:17 / 22 марта 2019
«Социум-Сооружение» переименовано в «Социум-Сокол»
21 марта в перечне предприятий холдинга появилось новое название.
День поэзии в селе Хирино
11:37 / 22 марта 2019
Всемирный день поэзии отметили в Общественном центре «СОЦИУМ-ПОСЕЛЕНИЙ»
Этот праздник учреждён ЮНЕСКО в 1999 году. Впервые День поэзии в России отметили в Театре на Таганке в 2000 году. С тех пор в нашей стране проходит много различных поэтических фестивалей, марафонов, поэтических вечеров.
Новый автомобиль ЧОП «СОЦИУМ-КРЕПОСТЬ ПОВОЛЖЬЕ»
11:19 / 22 марта 2019
Служба технических средств охраны ООО ЧОП «СОЦИУМ-КРЕПОСТЬ ПОВОЛЖЬЕ» получила новый автомобиль
Новая вместительная «Лада Ларгус» стала очередным носителем рекламы холдинга «Социум» в Арзамасе.
Волонтёры, помогающие бездомным животным
14:51 / 21 марта 2019
Как волонтёры из «Социума» помогают бездомным животным. #Даридобро
Прошедший год был объявлен годом добровольца. Год завершился, но добрые дела продолжаются. Светлана Спиридонова, начальник отдела по работе с клиентами «СОЦИУМ-ЭНЕРГО», вместе с сыном Александром стала активной участницей благотворительной акции «Помоги четвероногому другу», которая прошла в Красногорске на прошлой неделе.
Общественный центр «СОЦИУМ-ПОСЕЛЕНИЙ»
11:43 / 21 марта 2019
Общественный центр «СОЦИУМ-ПОСЕЛЕНИЙ» за здоровый образ жизни!
В Хирине ждут тёплой погоды, чтобы провести марафон здоровья. Массовое спортивное мероприятие пройдёт в селе впервые.