Вход | Регистрация
Главная > Новости > Инновации в АО «НИИ «Элпа»

Инновации в АО «НИИ «Элпа»

14:11 / 25 мая 2016
На предприятии идёт модернизация производства, которая позволяет добиться серьёзных результатов.
Геннадий Галанов, директор НПК-1
Наталья Владимировна Воронова (начальник лаборатории) и Юрий Вячеславович Пучков (инженер-конструктор)
Наталья Владимировна Воронова (начальник лаборатории) и Юрий Вячеславович Пучков (инженер-конструктор)

В технологическую линейку НПК-1 АО «НИИ «Элпа» не было капитальных вложений около 30 лет. В период перестроек было не до обновления оборудования, в то время главное было – поддержать старое в рабочем состоянии. И наконец время настало: дальше тянуть нельзя, иначе отставание станет фатальным. Кроме того, решение задач по импортозамещению и созданию современных акустоэлектронных устройств напрямую связано с развитием и совершенствованием технологической базы.

В основу проекта АО «НИИ «Элпа» в 2015 году легли минимизация размера структур и снижение дефектности на поверхности акустоэлектронных устройств. Цель проекта – формирование изображения методом контактной фотолитографии. Это один из важнейших компонентов в планарной технологии, используемой в производстве устройств на поверхностных акустических волнах (ПАВ). Уровень фотолитографии (размер критического элемента) определяет частоту ПАВ-устройств (резонаторов, фильтров). Существовавший до 2015 года технологический уровень производственной базы позволял получать минимальный размер элементов не лучше, чем 1 мкм. Модернизация участка фотолитографии, а именно: создание участка субмикронной фотолитографии позволило уменьшить минимальный размер элементов до 0,4 мкм.

Благодаря усилиям владельцев компании и выделенному финансированию, удалось приобрести новое оборудование. Это позволило добиться важных результатов. Специалисты научно-производственного комплекса провели серьёзную работу по организации участка субмикронной фотолитографии, настройке параметров технологического процесса по требованиям к ПАВ устройствам. Введена в эксплуатацию и апробирована установка совмещения и экспонирования ЭМ-5096, позволяющая формировать изображение с размером элементов 0,4 ÷ 0,6 мкм, при условии использования кварцевых фотошаблонов, новых типов фоторезистов (таких как UV5 или UV60) и выполнении более высоких требований к операциям нанесения фоторезиста, его термообработки и проявления. Объективный контроль воспроизводимости техпроцесса обеспечивается при помощи приобретённого атомно-силового микроскопа.

В результате c помощью участка субмикронной фотолитографии по разработанному технологическому маршруту были изготовлены акустические линии задержки на частоту 1250 МГц с полосой пропускания 50 %. Минимальный размер элементов устройства – 0,4 мкм. Как уже подчёркивалось, это значительно меньше по сравнению с результатами, которых удавалось достигать раньше.

Кроме того, на основе субмикронной технологии возможно расширение диапазона частот изготавливаемых устройств на поверхностных акустических волнах до частот 1,5 – 2,0 ГГц.

Таким образом, мы можем с гордостью заявить, что у нашей компании есть хороший научно-технический задел для дальнейшего развития.


Также вам может быть интересно
<a href="https://ru.freepik.com/free-vector/hand-drawn-maslenitsa-illustration_12396699.htm#page=2&query=%D0%BC%D0%B0%D1%81%D0%BB%D0%B5%D0%BD%D0%B8%D1%86%D0%B0&position=8&from_view=search&track=aitest">Изображение от pikisuperstar</a> на Freepik
11:53 / 8 февраля 2023
Масленица в «Социуме» 20 февраля!
Приглашаем всех коллег в первый день масленичной недели на обед с блинами. Обеспечим масленичным оформлением и настроением, вареньем, сгущёнкой, самоваром, развлечениями. А блины с вас. Просто потому, что так интересней!
Праздник в Общественном центре села Хирино
13:14 / 6 февраля 2023
Как бороться с нецензурной бранью? Комплименты помогут, считают в Общественном центре «СОЦИУМ-ХИРИНО»
3 февраля – Всемирный день борьбы с ненормативной лексикой. Как же не отметить его в Общественном центре «СОЦИУМ-ХИРИНО», ведь это лишний повод сказать друг другу что-то очень хорошее.
В Храме в честь Усекновения Честной главы Иоанна Предтечи
15:06 / 2 февраля 2023
Прекрасное и чистое место: храму в честь Усекновения Честной главы Иоанна Предтечи в Хирино подарили 3D-экскурсию
С помощью этого видео можно осмотреть нижний придел храма, где сейчас идёт реставрация. Хотя у 3D-экскурсии есть тематическое музыкальное сопровождение, во время просмотра складывается ощущение, что слышишь не наложенную мелодию, а особую объёмную намоленную тишину этого нефа.
Станислав Кособоков, председатель Правления ООО «СОЦИУМ-БАНК»
12:48 / 1 февраля 2023
Новый председатель Правления ООО «СОЦИУМ-БАНК» приступил к своим обязанностям
Станислав Кособоков официально вступил в должность. Представляем нового топ-менеджера «Социума».
Центр обработки данных компании «СОТЕЛ» («СОЦИУМ-ТЕЛЕКОМ»)
15:33 / 31 января 2023
Инвестиции. Компания Sotel («СОЦИУМ-ТЕЛЕКОМ») анонсировала запуск новой очереди второго ЦОД в этом году
Во время бюджетной сессии «Социума», состоявшейся в декабре, в рамках инвестиционной программы на 2023 год утверждено строительство второй очереди второго дата-центра компании «СОЦИУМ-ТЕЛЕКОМ». Запуск ожидается осенью.