Главная > Новости > Инновации в АО «НИИ «Элпа»

Инновации в АО «НИИ «Элпа»

14:11 / 25 мая 2016
На предприятии идёт модернизация производства, которая позволяет добиться серьёзных результатов.
Геннадий Галанов, директор НПК-1
Наталья Владимировна Воронова (начальник лаборатории) и Юрий Вячеславович Пучков (инженер-конструктор)
Наталья Владимировна Воронова (начальник лаборатории) и Юрий Вячеславович Пучков (инженер-конструктор)

В технологическую линейку НПК-1 АО «НИИ «Элпа» не было капитальных вложений около 30 лет. В период перестроек было не до обновления оборудования, в то время главное было – поддержать старое в рабочем состоянии. И наконец время настало: дальше тянуть нельзя, иначе отставание станет фатальным. Кроме того, решение задач по импортозамещению и созданию современных акустоэлектронных устройств напрямую связано с развитием и совершенствованием технологической базы.

В основу проекта АО «НИИ «Элпа» в 2015 году легли минимизация размера структур и снижение дефектности на поверхности акустоэлектронных устройств. Цель проекта – формирование изображения методом контактной фотолитографии. Это один из важнейших компонентов в планарной технологии, используемой в производстве устройств на поверхностных акустических волнах (ПАВ). Уровень фотолитографии (размер критического элемента) определяет частоту ПАВ-устройств (резонаторов, фильтров). Существовавший до 2015 года технологический уровень производственной базы позволял получать минимальный размер элементов не лучше, чем 1 мкм. Модернизация участка фотолитографии, а именно: создание участка субмикронной фотолитографии позволило уменьшить минимальный размер элементов до 0,4 мкм.

Благодаря усилиям владельцев компании и выделенному финансированию, удалось приобрести новое оборудование. Это позволило добиться важных результатов. Специалисты научно-производственного комплекса провели серьёзную работу по организации участка субмикронной фотолитографии, настройке параметров технологического процесса по требованиям к ПАВ устройствам. Введена в эксплуатацию и апробирована установка совмещения и экспонирования ЭМ-5096, позволяющая формировать изображение с размером элементов 0,4 ÷ 0,6 мкм, при условии использования кварцевых фотошаблонов, новых типов фоторезистов (таких как UV5 или UV60) и выполнении более высоких требований к операциям нанесения фоторезиста, его термообработки и проявления. Объективный контроль воспроизводимости техпроцесса обеспечивается при помощи приобретённого атомно-силового микроскопа.

В результате c помощью участка субмикронной фотолитографии по разработанному технологическому маршруту были изготовлены акустические линии задержки на частоту 1250 МГц с полосой пропускания 50 %. Минимальный размер элементов устройства – 0,4 мкм. Как уже подчёркивалось, это значительно меньше по сравнению с результатами, которых удавалось достигать раньше.

Кроме того, на основе субмикронной технологии возможно расширение диапазона частот изготавливаемых устройств на поверхностных акустических волнах до частот 1,5 – 2,0 ГГц.

Таким образом, мы можем с гордостью заявить, что у нашей компании есть хороший научно-технический задел для дальнейшего развития.

Также вам может быть интересно
Сотрудницы Бюро стандартизации и технической документации ООО «АПКБ» Валентина Вяльдина и Елена Ратина
12:23 / 25 сентября 2018
ООО «АПКБ», его подразделения и люди. Часть I: Бюро стандартизации и технической документации
Знакомство с подразделениями ООО «АПКБ», одного из арзамасских предприятий «Социума», мы начали с Бюро стандартизации и технической документации, которое возглавляет собственный корреспондент нашего сайта Валентина Вяльдина.
Скриншот сайта soor.ru
12:14 / 25 сентября 2018
На сайте компании «СОЦИУМ-СООРУЖЕНИЕ» запущен сервис «Личный кабинет арендатора»
Каждый партнёр компании может получить пароль от личного кабинета у своего менеджера из отдела аренды.
Общественный центр в селе Хирино
10:35 / 25 сентября 2018
В Общественном центре села Хирино отметят День пожилого человека
1 октября в построенном «СОЦИУМ-ПОСЕЛЕНИЯМИ» Общественном центре пройдёт первое мероприятие для жителей села.
Открытие Общественного центра в селе Хирино
19:52 / 24 сентября 2018
Дата события: 15 сентября 2018
NewsTracker: «Социум» Игоря Ашурбейли возрождает старинное село в Нижегородской области
В старинном нижегородском селе Хирино прошёл традиционный масштабный фестиваль фольклора и ремёсел «Голос традиций». Его учредитель – учёный и промышленник, глава холдинга «Социум» Игорь Ашурбейли.
В профилактории «Морозовский»
17:56 / 24 сентября 2018
«Морозовский» расширил перечень услуг и открыл новые объекты: итоги летнего сезона – 2018
Проекты, которые реализуются на территории профилактория «Морозовский», подсказаны самой атмосферой этих мест, где так хорошо тем, кто хочет отдохнуть от суеты городов поближе к природе.