Главная > Новости > Инновации в АО «НИИ «Элпа»

Инновации в АО «НИИ «Элпа»

14:11 / 25 мая 2016
На предприятии идёт модернизация производства, которая позволяет добиться серьёзных результатов.
Геннадий Галанов, директор НПК-1
Наталья Владимировна Воронова (начальник лаборатории) и Юрий Вячеславович Пучков (инженер-конструктор)
Наталья Владимировна Воронова (начальник лаборатории) и Юрий Вячеславович Пучков (инженер-конструктор)

В технологическую линейку НПК-1 АО «НИИ «Элпа» не было капитальных вложений около 30 лет. В период перестроек было не до обновления оборудования, в то время главное было – поддержать старое в рабочем состоянии. И наконец время настало: дальше тянуть нельзя, иначе отставание станет фатальным. Кроме того, решение задач по импортозамещению и созданию современных акустоэлектронных устройств напрямую связано с развитием и совершенствованием технологической базы.

В основу проекта АО «НИИ «Элпа» в 2015 году легли минимизация размера структур и снижение дефектности на поверхности акустоэлектронных устройств. Цель проекта – формирование изображения методом контактной фотолитографии. Это один из важнейших компонентов в планарной технологии, используемой в производстве устройств на поверхностных акустических волнах (ПАВ). Уровень фотолитографии (размер критического элемента) определяет частоту ПАВ-устройств (резонаторов, фильтров). Существовавший до 2015 года технологический уровень производственной базы позволял получать минимальный размер элементов не лучше, чем 1 мкм. Модернизация участка фотолитографии, а именно: создание участка субмикронной фотолитографии позволило уменьшить минимальный размер элементов до 0,4 мкм.

Благодаря усилиям владельцев компании и выделенному финансированию, удалось приобрести новое оборудование. Это позволило добиться важных результатов. Специалисты научно-производственного комплекса провели серьёзную работу по организации участка субмикронной фотолитографии, настройке параметров технологического процесса по требованиям к ПАВ устройствам. Введена в эксплуатацию и апробирована установка совмещения и экспонирования ЭМ-5096, позволяющая формировать изображение с размером элементов 0,4 ÷ 0,6 мкм, при условии использования кварцевых фотошаблонов, новых типов фоторезистов (таких как UV5 или UV60) и выполнении более высоких требований к операциям нанесения фоторезиста, его термообработки и проявления. Объективный контроль воспроизводимости техпроцесса обеспечивается при помощи приобретённого атомно-силового микроскопа.

В результате c помощью участка субмикронной фотолитографии по разработанному технологическому маршруту были изготовлены акустические линии задержки на частоту 1250 МГц с полосой пропускания 50 %. Минимальный размер элементов устройства – 0,4 мкм. Как уже подчёркивалось, это значительно меньше по сравнению с результатами, которых удавалось достигать раньше.

Кроме того, на основе субмикронной технологии возможно расширение диапазона частот изготавливаемых устройств на поверхностных акустических волнах до частот 1,5 – 2,0 ГГц.

Таким образом, мы можем с гордостью заявить, что у нашей компании есть хороший научно-технический задел для дальнейшего развития.

Также вам может быть интересно
Праздник Божоле Нуво в профилактории «Морозовский»
12:17 / 7 декабря 2018
Выходные по-французски: в «Морозовском» отметили праздник виноделов
Более 130 гостей приехало в профилакторий «Морозовский», чтобы встретить начало нового винного года.
Алина Контарева, президент Центра помощи многодетным семьям «МногоМама»
12:05 / 6 декабря 2018
Президент центра помощи многодетным семьям Алина Контарева: «Социум – это целая Вселенная»
Компания «СОЦИУМ-СООРУЖЕНИЕ» стала партнёром одной из крупнейших благотворительных организаций России: в культурно-деловом квартале «МОСКВА-СОКОЛ» открывается Центр помощи многодетным семьям «МногоМама».
Новый год в «Морозовском»
12:48 / 5 декабря 2018
Дед Мороз встречает гостей в своей «Морозовской» резиденции
Прогуливаясь по территории профилактория «Морозовский», невозможно не заметить расписные сани рядом с одним из деревянных коттеджей. В начале зимы этот коттедж превратился в сказочный терем Деда Мороза.
Сергей Мустафин
12:13 / 5 декабря 2018
Собственный корреспондент компании ЧОП «СОЦИУМ-КРЕПОСТЬ ПОВОЛЖЬЕ» и сайта «Социум» Сергей Мустафин занял первое место на чемпионате «Молодые профессионалы»
Открытый V Региональный чемпионат «Молодые профессионалы» (WorldSkills Russia) состоялся в Нижнем Новгороде в конце ноября.
Новый год в профилактории «Морозовский»
11:12 / 5 декабря 2018
Новогоднее настроение, или Чудеса в ДедМорозовке
Белый снег, мороз и солнце, запах мандаринов, сверкающие гирлянды на ёлке, любимые новогодние мелодии и, конечно же, Дедушка Мороз с мешком сладких подарков – именно такими запомнятся отдыхающим профилактория «Морозовский» первые зимние выходные!