Главная > Новости > Инновации в АО «НИИ «Элпа»

Инновации в АО «НИИ «Элпа»

14:11 / 25 мая 2016
На предприятии идёт модернизация производства, которая позволяет добиться серьёзных результатов.
Геннадий Галанов, директор НПК-1
Наталья Владимировна Воронова (начальник лаборатории) и Юрий Вячеславович Пучков (инженер-конструктор)
Наталья Владимировна Воронова (начальник лаборатории) и Юрий Вячеславович Пучков (инженер-конструктор)

В технологическую линейку НПК-1 АО «НИИ «Элпа» не было капитальных вложений около 30 лет. В период перестроек было не до обновления оборудования, в то время главное было – поддержать старое в рабочем состоянии. И наконец время настало: дальше тянуть нельзя, иначе отставание станет фатальным. Кроме того, решение задач по импортозамещению и созданию современных акустоэлектронных устройств напрямую связано с развитием и совершенствованием технологической базы.

В основу проекта АО «НИИ «Элпа» в 2015 году легли минимизация размера структур и снижение дефектности на поверхности акустоэлектронных устройств. Цель проекта – формирование изображения методом контактной фотолитографии. Это один из важнейших компонентов в планарной технологии, используемой в производстве устройств на поверхностных акустических волнах (ПАВ). Уровень фотолитографии (размер критического элемента) определяет частоту ПАВ-устройств (резонаторов, фильтров). Существовавший до 2015 года технологический уровень производственной базы позволял получать минимальный размер элементов не лучше, чем 1 мкм. Модернизация участка фотолитографии, а именно: создание участка субмикронной фотолитографии позволило уменьшить минимальный размер элементов до 0,4 мкм.

Благодаря усилиям владельцев компании и выделенному финансированию, удалось приобрести новое оборудование. Это позволило добиться важных результатов. Специалисты научно-производственного комплекса провели серьёзную работу по организации участка субмикронной фотолитографии, настройке параметров технологического процесса по требованиям к ПАВ устройствам. Введена в эксплуатацию и апробирована установка совмещения и экспонирования ЭМ-5096, позволяющая формировать изображение с размером элементов 0,4 ÷ 0,6 мкм, при условии использования кварцевых фотошаблонов, новых типов фоторезистов (таких как UV5 или UV60) и выполнении более высоких требований к операциям нанесения фоторезиста, его термообработки и проявления. Объективный контроль воспроизводимости техпроцесса обеспечивается при помощи приобретённого атомно-силового микроскопа.

В результате c помощью участка субмикронной фотолитографии по разработанному технологическому маршруту были изготовлены акустические линии задержки на частоту 1250 МГц с полосой пропускания 50 %. Минимальный размер элементов устройства – 0,4 мкм. Как уже подчёркивалось, это значительно меньше по сравнению с результатами, которых удавалось достигать раньше.

Кроме того, на основе субмикронной технологии возможно расширение диапазона частот изготавливаемых устройств на поверхностных акустических волнах до частот 1,5 – 2,0 ГГц.

Таким образом, мы можем с гордостью заявить, что у нашей компании есть хороший научно-технический задел для дальнейшего развития.

Также вам может быть интересно
Фото Татьяны Кузнецовой
15:02 / 29 мая 2017
Опасные грибы и уха из раков в меню нижегородского фестиваля
Увидеть гусей на кулинарном фестивале могли все, попробовать — не каждый
С символического перерезания красной ленточки состоялось открытие современного складского комплекса
20:39 / 26 мая 2017
На Арзамасском заводе получили подарки к юбилею
Свой 60-й день рождения Арзамасский приборостроительный завод отметил запуском нового водогрейного котла и открытием современного складского комплекса.
Директор по производству и продажам гражданской продукции Владислав Цыцулин с посетителями стенда АО «АПЗ». Автор фото: Александр Барыкин
19:59 / 26 мая 2017
Дата события: 19 мая 2017
Продукция АПЗ на Международном форуме
С 16 по 19 мая в Нижнем Новгороде вновь прошёл Международный научно-промышленный форум «Великие реки – экологическая, гидрометеорологическая, энергетическая безопасность», где была представлена экспозиция и Арзамасского приборостроительного завода.
Владимир Евсеев, директор АПКБ
23:29 / 23 мая 2017
АПКБ на взлётной полосе
В 2013 году конструкторские бюро АО «АПЗ», занимающиеся новыми разработками, были выделены в отдельное предприятие ООО «Арзамасское приборостроительное конструкторское бюро».
14:57 / 22 мая 2017
Вышел новый 4-й номер корпоративной газеты «Социум»
В номере: компания «СОЦИУМ-ПОСЕЛЕНИЯ» отмечает трёхлетие; холдинг готовится к ежегодной конференции; как работает совет молодых специалистов «ЭЛПЫ»; АПКБ завершило одну из разработок; фестиваль «Арзамасский гусь» и многое другое.